新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應用

氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節(jié)閥兩大部分組成，而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成，當儲罐內壓力升高至設定壓力時，快速泄放閥迅速開啟，將罐內多余壓力泄放。微壓調節(jié)閥是在儲罐內壓力降低時，開啟閥門，向罐內充注氮氣。因微壓調節(jié)閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下，現(xiàn)場N2壓力較高，必須安裝壓力調節(jié)閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。

氮封裝置的供（泄）氮壓力設定方便，且可在連續(xù)生產的條件下進行；氮氣壓力設定范圍廣，低至0.5Kpa（50mm.w.c）,高至Kpa，比值達132倍，壓力檢測膜片有效面積大，設定彈簧剛度小，動作極靈敏。

供氮壓力調整：在微壓調節(jié)閥壓力調節(jié)范圍內選定一設定值如1Kpa（100mm.w.c）,通過調節(jié)調整螺絲2以改變彈簧3的預壓縮（拉伸）量來達到；

泄氮壓力調整：在快速泄放閥在的壓力控制器部分，通過調整座3，改變彈簧4預壓縮量達到。一般為避免氮封裝置啟閉頻繁，泄氮設定值應遠離供氮壓力值，如2Kpa（200mm.w.c），呼吸閥高定值調整：在上述兩設定值調整好后，為避免呼吸閥啟閉頻繁，呼吸閥設定值應大于泄壓設定值。

新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應用

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種超純水用氮封裝置，包括超純水水箱、壓力開關、出水管路、進水管路和常態(tài)氮氣補充管路，所述超純水水箱上安裝有壓力開關、出水管路和進水管路，所述壓力開關位于液面上方，所述出水管路和進水管路位于液面下方；所述常態(tài)氮氣補充管路共兩路氣路；所述超純水水箱與液位計連通，所述液位計的上半部分與下半部分均與超純水水箱連接；所述液位計內插設有下端沒于液面下方的可調正壓管；所述常態(tài)氮氣補充管路的一路氣路與超純水水箱連接，與所述超純水水箱連接的常態(tài)氮氣補充管路的氣路上安裝有快速電磁閥；所述常態(tài)氮氣補充管路的另一路氣路與可調正壓管連接，與可調正壓管連接的所述常態(tài)氮氣補充管路的氣路上安裝有減壓閥；所述超純水水箱上固定連接安全閥，所述安全閥位于液面上方。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術方案，上述液位計上固定連接有一對連接法蘭，一個連接法蘭固定安裝于液位計的上半部分，另一個連接法蘭固定安裝于液位計的下半部分，所述超純水水箱的外部與一對連接法蘭對應的位置處也各自安裝有一個連接法蘭，所述液

位計與超純水水箱通過連接法蘭密封連接。超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內，水箱內氮氣壓力不大于80Kpa，氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質，保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。

浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司是一家專門致力于電子級納米磨料和拋光液技術開發(fā)、生產、銷售和服務的高科技企業(yè)。公司在我國電子級納米磨料依賴進口的形勢下，根據(jù)國家的戰(zhàn)略部署，在中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所與海寧市人民政府戰(zhàn)略合作協(xié)議框架下成立。目前主要從事電子級二氧化硅納米磨料和拋光液的技術開發(fā)、生產、銷售和服務。

新創(chuàng)納公司建有*電子級磨料和拋光液生產線，擁有完整的磨料和拋光液制備、檢測、拋光驗證系統(tǒng)，是目前中國技術電子級膠體二氧化硅、藍寶石拋光液和硅片拋光液供應商，產品質量和技術能力得到了國內外公司的認可。經過一期和二期的建設，公司現(xiàn)在已經具備年產一萬多噸的電子級硅溶膠和拋光液的生產能力，公司研發(fā)和生產的電子級硅溶膠、藍寶石拋光液、金屬拋光液、硅片拋光液和碳化硅拋光液已成功應用與數(shù)十家電子和光電子行業(yè)的公司，成功替代了相應的進口產品。

本項目團隊成員在硅溶膠、包括磨料的制備、硅片拋光液、氧化硅拋光液、相變材料拋光液、金屬拋光液、高純硅溶膠、大粒徑硅溶膠、酸性硅溶膠等。

以新創(chuàng)納公司為依托的納米電子材料和器件工程中心較好地結合了中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所和嘉興市政府的資源，目前已有較好的研發(fā)平臺。并且與美國應用材料公司（Applied Materials）建立了聯(lián)合實驗室，共享儀器設備，共同開發(fā)碳化硅(SiC)和大硅片等集成電路拋光液。

新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應用超純水設備

微壓調節(jié)閥壓力調節(jié)范圍內選定一設定值 如：3Kpa。

泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值，如：8Kpa。

具體壓力的設定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產水量和水箱容量大小來確定選擇。

氮氣 (N2)的純度為99.999％以上。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術方案，上述快速電磁閥的型號為dmf-zm-25。

作為本發(fā)明的一種優(yōu)選技術方案，上述減壓閥的型號為133l-dn50。

新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應用與現(xiàn)有技術相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型中通過液位計中的水量動態(tài)調節(jié)氮封的液面高度，根據(jù)超純水水箱內部液面的高度來動態(tài)控制快速電磁閥和減壓閥向超純水水箱內部補充氮氣，確保超純水水箱里面始終充有正壓的氮氣。本實用新型中液位計的直徑小，所以對壓力反應靈敏度高，所以既不會導致過量補充氮氣，也不會導致超純水溢流；此外本實用新型的氮封裝置設備簡單，安裝簡單，使用更加方便。

.以上的，僅為本實用新型較佳的具體實施方式，但本實用新型的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術領域的技術人員在本實用新型揭露的技術范圍內，根據(jù)本實用新型的技術方案及其實用新型構思加以等同替換或改變，都應涵蓋在本實用新型的保護范圍之內。

壓力可按要求分段設定，從0.5Kpa至60 Kpa以下。

微壓調節(jié)閥壓力調節(jié)范圍內選定一設定值 如：3Kpa。

泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值，如：8Kpa。

具體壓力的設定值要根據(jù)純水系統(tǒng)的產水量和水箱容量大小來確定選擇。

氮氣 (N2)的純度為99.99％。

原水箱→原水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→一級 RO 水箱→二級高壓泵混→二級反滲透裝置→二級 RO 水箱→EDI 增壓泵→紫外線殺菌器→EDI 前置過濾器→EDI 裝置→氮封水箱→TOC 殺菌器→拋光混床→微孔過濾→用水點

五、新創(chuàng)納電子納米超純水用氮封閥裝置應用安裝注意事項

（1）安裝前，檢查整機零件是否缺損與松動，對管道應進行清洗，介質流向應與閥體上的箭頭指向一致。

（2）為便于現(xiàn)場維護與操作，閥四周應留有適當空間與設置旁路手動閥，閥組安裝方案。

（3閥門應正立垂直安裝在水平管道上，閥體與管道的法塵連接，要注意同軸度，并應安裝在環(huán)境溫度不超過-25～55℃的場合使用。